prof. dr hab. inż. Bogdan Maciej Wilamowski Układy scalone Budowa, działanie i technologia
WKIŁ 1989, str. 336, stan bdb- (podniszczona lekko okładka)
ISBN 83-[zasłonięte]-0792-2
Książka stanowi monografię przedstawiającą całościowo problematykę projektowania i wytwarzania układów scalonych. Składa się z czterech części, omawiających szczegółowo zagadnienia dotyczące przyrządów półprzewodnikowych, scalonych układów analogowych i cyfrowych oraz technologii ich wytwarzania. Odbiorcami książki są pracownicy naukowi i techniczni uczelni i instytutów, inżynierowie i technicy zatrudnieni w przemyśle oraz studenci wyższych szkół technicznych.
WYKAZ WAŻNIEJSZYCH OZNACZEŃ A WSTĘP Literatura/19 2 PODSTAWY FIZYKI PÓŁPRZEWODNIKÓW 2.1. Struktura kryształu/20 2.2. Pasma energetyczne w półprzewodnikach/22 2.3. Energia elektronów i gęstości stanów/24 2.4. Koncentracje dziur i elektronów w półprzewodniku samoistnym/25 2.5. Koncentracje dziur i elektronów w półprzewodniku domieszkowanym/27 2.6. Dryft nośników w polu elektrycznym/30 2.7. Prądy dryftu i dyfuzji w półprzewodnikach/34 2.8. Generacja i rekombinacja nośników/36 2.9. Niejednorodnie domieszkowany półprzewodnik i pole wbudowane/39 2.10. Podstawowe równania w półprzewodnikach/39 Literatura/41 3 PASYWNE ELEMENTY UKŁADÓW SCALONYCH 3.1. Kondensatory/42 3.1.1. Kondensatory MOS/43 3.1.2. Kondensatory złączowe/45 3.2. Rezystory dyfuzyjne/47 3.2.1. Rezystory bazowe/49 3.2.2 Rezystory emiterowe/50 3.2.3. Rezystory ściśnięte/51 3.2.4. Porównanie parametrów rezystorów dyfuzyjnych/52 3.2.5. Inne rodzaje elementów spełniających funkcje rezystorów/53 Literatura/54 4 ZŁĄCZOWY TRANZYSTOR POLOWY 4.1. Teoria przyrządu JFET/57 4.2. Tranzystory polowe z krótkim kanałem SIT/59 4.2.1. Wstrzykiwanie nośników poprzez barierę potencjaiu/61 4.2.2. Charakterystyki prądowo-napięciowe tranzystora SIT/61 4.3. Tranzystory z transportem balistycznym/64 Literatura/64 3 TRANZYSTORY MOS 5.1. Struktura MOS/67 5.2. Charakterystyki prądowo-napięciowe/71 5.3. Parametry małosygnałowe/74 5.4. Efekty drugorzędne/75 5.4.1. Efekt modulacji długości kanału/75 5.4.2. Wpływ polaryzacji podłoża na wartość napięcia progowego/75 5.4.3. Wpływ polaryzacji kanał-podłoże na charakterystyki statyczne/76 5.4.4. Efekt zmian ruchliwości powierzchniowej/76 5.4.5. Podprogowy przepływ prądu/77 5.4.6. Efekt krótkiego kanału/79 •6 AJ. Efekt wąskiego kanału/80 5.4.8. Metody skalowania tranzystorów MOS/80 5.4.9. Metody określenia napięcia progowego/81 Literaturami 6 ZŁĄCZA p-n I TRANZYSTORY BIPOLARNE 6.1. Złącze p-n spolaryzowane w kierunku zaporowym/85 6.2. Złącze p-n spolaryzowane w kierunku przewodzenia/89 6.3. Podstawowe zależności w tranzystorze bipolarnym/94 6.3.1. Prądy w złączu emiter-baza/95 6.3.2. Sprawność wstrzykiwania emitera/95 6.3.3. Sprawność transportu nośników przez bazę/96 6.3.4. Efekt modulacji konduktywności bazy/98 6.3.5. Efekt Kirka/98 6.3.6. Efekt Early'ego/98 6.4. Tranzystory z niejednorodną bazą/100 Literatura j'101 7 MODELE PRZYRZĄDÓW PÓŁPRZEWODNIKOWYCH 7.1. Specyfika komputerowych metod projektowania/!02 7.2. Modele tranzystora bipolarnego/102 7.3. Modele tranzystora MOS/108 Literaturajl 11 8 EFEKTY PASOŻYTNICZE W UKŁADACH SCALONYCH 8.1. Pasywne elementy pasożytnicze/112 8.1.1. Pojemności złączy/112 8.1.2. Pojemności dyfuzyjne/113 8.1.3. Rezystancje rozproszone/113 8.2. Aktywne elementy pasożytnicze — tranzystory/114 8.2.1. Pasożytnicze tranzystory MOS/114 8.2.2. Pasożytnicze tranzystory JFET/115 8.2.3. Pasożytnicze tranzystory bipolarne/115 8.3. Efekty termiczne i sprzężenia cieplne/117 9 PODUKŁADY BIPOLARNE ANALOGOWYCH UKŁADÓW SCALONYCH 9.1. Źródła prądowe/121 9.1.1. Źródła prądowe o stałej wydajności/122 9.1.2. Źródła prądowe sterowane/123 9.2. Wzmacniacze różnicowe/128 9.3. Układy przejścia ze stopnia symetrycznego na asymetryczny/131 9.4. Asymetryczne stopnie wzmacniające/132 9.5. Obciążenia aktywne/133 9.6. Układy przesuwania poziomów napięć/134 9.6.1. Układy z wykorzystaniem spadku napięcia na rezystorze/134 9.6.2. Układy z wykorzystaniem spadku napięcia na diodach/136 9.6.3. Tranzystorowe układy przesuwania poziomów napięć/137 9.7. Stopnie wyjściowe/138 9.7.1. Układ z diodą kluczującą/139 9.7.2. Układ z przełącznikiem tranzystorowym/139 9.7.3. Układ z przełączaniem na diodach/140 9.7.4. Układ stopnia wyjściowego z diodami kompensacyjnymi/l40 9.8. Układy zabezpieczające/142 Literatura/l^ 10 WZMACNIACZE OPERACYJNE 10.1. Konstrukcja wzmacniacza operacyjnego/144 10.2. Parametry wzmacniacza operacyjnego/146 10.2.1. Wejściowy prąd polaryzacji/147 10.2.2. Wejściowe napięcie niezrównoważenia/147 10.2.3. Dryft cieplny napięcia niezrównoważenia/148 10.2.4. Rezystancja wejściowa/148 10.2.5. Rezystancja wyjściowa/148 10.2.6. Zakres zmian napięcia wejściowego/148 10.2.7. Wzmocnienie/149 10.2.8. Współczynnik tłumienia sygnału wspólnego/149 10.2.9. Współczynnik tłumienia wpływu napięcia zasilania/149 10.2.10. Jednostkowa częstotliwość graniczna/149 10.2.11. Szybkość narastania napięcia wyjściowego/149 10.2.12. Czas ustalenia wartości napięcia wyjściowego/150 10.3. Podstawowe konfiguracje układowe wzmacniaczy operacyjnych/150 10.4. Stabilność i kompensacja częstotliwościowa/152 11.4.1. Stabilność wmacniaczy ze sprzężeniem zwrotnym/153 10.4.2. Metody korekcji stabilności wzmacniaczy/155 10.5. Wzmacniacze instrumentalne/158 Literatura /159 11 UKŁADY ANALOGOWE SPECJALNEGO PRZEZNACZENIA 11.1. Źródła napięcia referencyjnego/160 11.1.1. Diody referencyjne/160 11.1.2. Układy referencyjne z przerwą energetyczną/162 11.2. Regulatory napięć/164 11.2.1. Regulatory szeregowe/164 11.2.2. Regulatory impulsowe/166 11.3. Precyzyjne prostowniki/169 11.4. Układy mnożące/170 11.4.1. Układ wzmacniacza różnicowego z ogranicznikiem/170 11.4.2. Podwójnie zrównoważony układ mnożący/171 11.4.3. Układ regulacji wzmocnienia/173 11.4.4. Krzyżowy przełącznik torów/174 Literatura j 11.4.5. Multiplekser analogowy/174 11.5. Układy przetworników napięcie — częstotliwość/175 11.6. Układy z pętlą fazową — PLL/177 11.7. Układy toru „sample and hold"/178 11.8. Układy wzmacniaczy wielkich częstotliwości/180 11.9. Komparatory napięć/181 Literatura 183 12 ANALOGOWE UKŁADY MOS 12.1. Właściwości tranzystora MOS/184 12.1.1. Transkonduktancja/184 12.1.2. Wzmocnienie/185 12.1.3. Pojemności tranzystora MOS/186 12.1.4. Szumy/l 87 12.2. Podukłady analogowych układów MOS/187 12.2.1. Stopnie wzmacniające/187 12.2.2.v Źródła prądowe/189 12.2.3. Układy polaryzacji/190 12.2.4. Układy napięcia referencyjnego/192 12.2.5. Stopnie wyjściowe/193 12.3. Niektóre rozwiązania analogowych układów MOS/194 12.3.1. Wzmacniacze operacyjne/195 12.3.2. Układy C-przełączane/197 Literatura /199 PRZETWORNIKI CYFROWO-ANALOGOWE I ANALOGOWO-CYFROWE 13.1. Właściwości informacji cyfrowej,/200 13.2. Przetworniki cyfrowo-analogowe/201 13.3. Przetworniki analogowo-cyfrowe/206 13.3.1. Metody czasowe/207 13.3.2. Przetworniki kompensacyjne — szeregowe/208 13.3.3. Przetworniki równoległe — „fiash"/210 13.3.4. Przetworniki równoległo-szeregowe/211 13.3.5. Przetworniki propagacyjne/212 Literatura 1213 14 CYFROWE UKŁADY LOGICZNE 14.1. Rodziny bipolarnych układów logicznych/214 14.1.1. Układy TTL/214 14.1.2. Układy ECL/218 14.1.3. Układy EFL/219 14.1.4. Układy I2L/220 14.1.5. Układy zintegrowane z diodami Schottky'ego/222 14.1.6. Układy 3-rf/223 14.2. Układy cyfrowe MOS/226 14.2.1. Tranzystor MOS jako przyrząd obciążający/226 14.2.2. Układy p-MOS/228 14.2.3. Układy k-MOS/228 14.2.4. Układy CMOS/228 14.2.5. Dynamiczne układy logiczne/229 14.3. Porównanie ograniczeń układów MOS i bipolarnych/230 14.3.1. Ograniczenia tranzystorów MOS/230 14.3.2. Ograniczenia tranzystorów bipolarnych/231 Literatura 1233 13 CYFROWE BLOKI FUNKCJONALNE 15.1. Przerzutniki bistabilne/235 15.1.1. Przerzutniki typu RS/235 15.1.2. Przerzutniki JK/236 15.1.3. Przerzutniki typu D/239 15.2. Przerzutniki generacyjne/239 15.2.1. Przerzutniki monostabilne/239 15.2.2. Przerzutniki astabilne — wolnobiegnące/240 15.2.3. Przerzutniki Schmitta/240 15.3. Generatory/240 15.3.1. Generatory pierścieniowe/241 15.3.2. Generator z przerzutnikiem Schmitta/242 15.3.3. Generatory kwarcowe/242 15.4. Multipleksery i demultipleksery/244 15.5. Komparatory cyfrowe/244 15.6. Rejestry/244 15.7. Liczniki/245 15.8. Układy arytmetryczne/245 15.8.1. Sumatory/246 15.8.2. Multipłikatory/246 15.9. Inne rozwiązania ukladowe/247 ____ 15.9.1. Wzmacniacze sygnałów cyfrowych — wzmacniacze odczytu/247 15.9.2. Bramki transmisyjne/249 15.9.3. Układy zabezpieczeń/250 15.9.4. Układy autopolaryzacji/252 15.9.5. Układy zabezpieczeń w technologii CMOS/253 15.10. Specjalizowane układy cyfrowe/254 15.10.1. Układy „gate array"/254 15.10.2. Układy „standard ceIIs"/255 Literatura/255 16 MIKROPROCESORY 16.1. Struktura mikroprocesora/257 16.2. Instrukcje mikroprocesora/260 16.2.1. Instrukcje przesłań/261 16.2.2. Instrukcje arytmetyczne/261 16.2.3. Instrukcje logiczne/262 16.2.4. Instrukcje skoku/262 16.2.5. Instrukcje wejścia i wyjścia/263 16.2.6. Przerwania/263 16.3. Przegląd mikroprocesorów/263 Literatura/266 1 / PAMIĘCI PÓŁPRZEWODNIKOWE 17.1. Pamięci typu RAM/267 17.1.1. Pamięci dynamiczne RAM/268 17.1.2. Statyczne pamięci RAM/269 17.2. Pamięci stałe/271 17.2.1. Pamięci ROM/271 17.2.2. Układy PLA/273 17.2.3. Układy PROM i FPLA/273 17.2.4. Reprogramowalne pamięci stałe/274 Literatura/277 18 METODY KOMPUTEROWEGO PROJEKTOWANIA UKŁADÓW SCALONYCH 18.1. Poziom przyrządów półprzewodnikowych/279 18.2. Poziom podukładów i układów/280 18.2.1. Analiza układów liniowych/281 18.2.2. Analiza układów nieliniowych/282 18.2.3. Analiza stanów przejściowych/284 18.2.4. Analiza układów z wykorzystaniem zasady zachowania ładunku/286 18.3. Poziom układów logicznych/289 18.4. Poziom masek/289 18.4.1. Rozmieszczanie elemBntów/290 18.4.2. Wytyczanie połączeń/291 18.5. Optymalizacja projektu/291 Literatura 19 PROCESY TECHNOLOGICZNE WYTWARZANIA UKŁADÓW SCALONYCH 19.1. Wygrzewanie wstępne/296 19.2. Termiczne utlenianie krzemu/297 19.2.1. Szybkość narastania tlenku/297 19.2.2. Utlenianie pod zwiększonym ciśnieniem/300 19.2.3. Pochłanianie krzemu przez tlenek/300 19.2.4. Efekt segregacji domieszek w procesie utleniania/300 19.2.5. Wytwarzanie tlenku pod bramki MOS/301 19.2.6. Selektywne utlenianie krzemu/301 19.3. Litografia/304 19.3.1. Fotolitografia kontaktowa/304 19.3.2. Fotolitografia zbliżeniowa/305 19.3.3. Fotolitografia projekcyjna — skaningowa/305 19.3.4. Fotolitografia z powielaniem kroczącym/305 19.3.5. Elektronolitografia — litografia wiązką elektronową/305 19.3.6. Rentgenolitografia/306 19.3.7. Jonolitografia/306 19.3.8. Ograniczenia litografii/306 19.4. Trawienie/307 19.5. Dyfuzja/309 19.5.1. Zjawisko dyfuzji/309 19.5.2. Sposoby dyfuzji/313 19.6. Implantacja/315 19.6.1. Budowa implantatora jonów/315 19.6.2. Kontrola dozy domieszek/316 19.6.3. Profile implantowanych warstw/316 19.6.4. Wygrzewanie implantowanych warstw/318 19.6.5. Problemy związane z implantacją jonów/318 19.7. Nanoszenie warstw techniką CVD/319 19.7.1. Urządzenia CVD z ciśnieniem atmosferycznym/320 19.7.2. Urządzenia CVD z obniżonym ciśnieniem/320 19.7.3. Urządzenia CVD wspomagane plazmą/320 19.8. Metalizacja/320 Literatura /322 DODATKI 1. Proces wytwarzania układów TTLS/323 2. Proces wytwarzania układów n-MOS/327 3. Proces wytwarzania układów CMOS/331 Skorowidz ;334
Zapraszam do odwiedzenia innych naszych aukcji
|