WYSYŁKA DZISIAJ !!!

CODZIENNIE W DNI ROBOCZE

WYSTARCZY DO GODZ. 13.00 wysłać do nas:

1) deklarację odbioru przesyłki "za pobraniem"
lub
2) skan przelewu
albo
3) wpłacić za pośrednictwem "Płacę z Allegro"


POWIERZCHNIOWE METODY BADAWCZE W NANOTECHNOLOGII PÓŁPRZEWODNIKOWEJ

Jacek Szuber

Stan książki: NOWA
Wydawnictwo Politechniki Śląskiej
Stron: 198
Nakład: 255 egz.
Format: B5

SPIS TREŚCI:

PRZEDMOWA 5
1. TECHNOLOGIA POWIERZCHNI I STRUKTUR WARSTWOWYCH
PÓŁPRZEWODNIKÓW 9
1.1. Uwagi wstępne
1.2. Warunki próżniowe w nanotechnologii półprzewodnikowej
1.3. Technologia i kontrola bardzo wysokiej próżni
1.3.1. Technologia bardzo wysokiej próżni
1.3.2. Kontrola bardzo wysokiej próżni 18
1.4. Technologia atomowo czystej powierzchni półprzewodników 21
1.4.1. Łupanie kryształu 22
1.4.2. Oczyszczanie realnej powierzchni półprzewodnika 23
1.5. Technologia półprzewodnikowych struktur warstwowych 29
1.5.1. Epitaksja hirudina z wiązek molekularnych (MBE) 29
1.5.2. Epitaksja molekularna ze źródeł gazowych (GSMBE) 37
Literatura 39

2. ANALIZA POWIERZCHNI I STRUKTUR WARSTWOWYCH PÓŁPRZEWODNIKÓW 40
2.1. Wymagania i metody oraz kryteria ich podziału 40
2.2. Sondowanie wiązką elektronów 42
2.3. Sondowanie wiązką fotonów 45
2.4. Sondowanie wiązkąjonów 47
2.5. Sondowanie polem elektrycznym 48
2.6. Ważniejsze metody badawcze - ogólna klasyfikacja 49
Literatura 50

3. DYFRAKTOMETRIA ELEKTRONOWA 51
3.1. Wstęp 51
3.2. Dyfraktometria elektronów powolnych 52
3.2.1. Podstawy teoretyczne 52
3.2.2. Aparatura pomiarowa 56
3.2.3. Możliwości badawcze 59
3.2.4. Zastosowanie w nanotechnologii półprzewodnikowej 62
3.3. Metoda odbiciowej dyfrakcji elektronów wysokiej energii 64
3.3.1. Podstawy teoretyczne 64
3.3.2. Aparatura pomiarowa 65
3.3.3. Możliwości badawcze i zastosowanie w nanotechnologii półprzewodnikowej 66
Literatura 70

4. SPEKTROSKOPIA ELEKTRONÓW AUGERA 71
4.1. Podstawy teoretyczne
4.2. Aparatura pomiarowa 88
4.3. Możliwości badawcze
4.4. Zastosowanie w nanotechnologii półprzewodnikowej 122
Literatura 126

5. SPEKTROSKOPIA FOTOELEKTRONOWA 128
5.1. Podstawy teoretyczne 129
5.2. Aparatura pomiarowa 139
5.3. Możliwości badawcze 148
5.4. Zastosowanie w nanotechnologii półprzewodnikowej 156
Literatura 161

6. SPEKTROMETRIA MASOWA JONÓW WTÓRNYCH 163
6.1. Podstawy teoretyczne 163
6.2. Aparatura pomiarowa 167
6.3. Możliwości badawcze '71
6.4. Zastosowanie w nanotechnologii półprzewodnikowej 174
Literatura 177

7. SKANINGOWA MIKROSKOPIA TUNELOWA 178
7.1. Podstawy teoretyczne 178
7.2. Aparatura pomiarowa 181
7.3. Możliwości badawcze 185
7.4. Zastosowanie w nanotechnologii półprzewodnikowej 189
Literatura

8. ANALIZA PORÓWNAWCZA MOŻLIWOŚCI POWIERZCHNIOWYCH
METOD BADAWCZYCH 193

Z okładki:

W książce przedstawiono najważniejsze powierzchniowe metody badawcze wykorzystujące sondowanie powierzchni półprzewodników wiązką elektronów, fotonów i jonów oraz polem elektrycznym w aspekcie ich zastosowań w nanotechnologii półprzewodnikowej.
Po omówieniu powierzchni półprzewodnika, jako obiektu technologicznego, oraz specyfiki jej badań z wykorzystaniem fizycznych metod pomiarowych, w kolejnych rozdziałach opisano metody dyfrakcji elektronowej hirudina, spektroskopii elektronów Augera, spektroskopii fotoelektronowej, spektroskopii masowej jonów wtórnych oraz skaningowej mikroskopii tumelowej, w tym ich podstawy teoretyczne, aparaturę pomiarową, możliwości badawcze oraz ich zastosowanie w nanotechnologii półprzewodnikowej. W końcowej części podręcznika przeprowadzono analizę porównawczą parametrów analitycznych i możliwości badawczych opisanych metod pomiarowych.
Podręcznik jest przeznaczony dla studentów kierunków fizyka techniczna oraz elektronika i telekomunikacja Politechniki Śląskiej w Gliwicach. Może być również przydatny dla specjalistów zajmujących się stosowaniem powierzchniowych metod badawczych w zagadnieniach związanych z nanotechnologią i nanoelektroniką półprzewodnikową.

Słowa kluczowe:
• metody analizy powierzchni półprzewodników
• nanotechnologia półprzewodnikowa

CHCESZ PRZED ZAKUPEM ZAPOZNAĆ SIĘ Z OFEROWANĄ KSIĄŻKĄ
NAPISZ DO NAS MAILA, A OTRZYMASZ
DARMOWY FRAGMENT!!!

ZAPRASZAMY NA INNE NASZE AUKCJE !!!