MIKRO- I NANOEMITERY POLOWE.


autor: Anna Górecka-Drzazga
Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
rok wydania: 2008
liczba stron: 184
oprawa: miękka
format: B5
ISBN:[zasłonięte]978-83933-42


W pracy opisano rozwój mikro- i nanoelektroniki próżniowej z uwzględnieniem osiągnięć ośrodków światowych i krajowych.
Dziedzina ta rozwinęła się na pograniczu trzech nowoczesnych technologii, tzn. technologii próżniowej, mikroelektronicznej i mikromechanicznej. Przedstawiono kompleksowe opracowanie dotyczące technik wytwarzania mikro- i nanoemiterów z krzemu, węglika krzemu i nanorurek węglowych. Omówiono właściwości i zastosowanie matryc mikro- i nanoostrzy w takich miniaturowych urządzeniach, jak polowe źródło elektronów, płaskie źródło światła dla mikrospektrometrii fluorometrycznej i optyczny skanningowy mikroskop bliskich oddziaływań on-chip.

SPIS TREŚCI:

Spis najważniejszych akronimów
Spis oznaczeń

Wstęp

1. Wprowadzenie
1.1. Podstawy teoretyczne mikroelektroniki próżniowej
1.2. Rys historyczny rozwoju mikroelektroniki próżniowej
1.3. Systematyka emiterów polowych
1.4. Podsumowanie
Literatura

2. Krzemowe mikroemitery polowe
2.1. Mikroemitery krzemowe
2.1.1. Trawienie mokre izotropowe
2.1.2. Ostrzenie emiterów krzemowych
2.1.3. Trawienie suche izotropowe
2.1.3.1. Trawienie w plazmie SF6
2.1.3.2. Trawienie w plazmie SF6 + 02
2.1.3.3. Trawienie w plazmie SF6 + CI2
2.1.4. Łączone techniki formowania mikroemiterów
2.2. Zastosowanie matryc mikroemiterów krzemowych w polowych źródłach elektronów
2.2.1. Właściwości emisyjne mikroemiterów krzemowych pokrytych warstwą metaliczną
2.2.2. Właściwości emisyjne mikroemiterów krzemowych z bramką metaliczną
2.3. Zastosowanie mikroostrzy krzemowych w badaniach substancji biochemicznych
2.4. Podsumowanie
Literatura

3. Mikroemitery polowe typu mold z węglika krzemu
3.1. Technika repliki krzemowej - przegląd rozwiązań
3.2. Wybrane właściwości i zastosowania węglika krzemu
3.2.1. Lity węglik krzemu
3.2.2. Cienkie warstwy węglika krzemu
3.3. Procedury technologiczne dla techniki mold
3.3.1. Mokre anizotropowe trawienie krzemu
3.3.1.1. Formowanie wgłębień
3.3.1.2. Usuwanie podłoża krzemowego
3.3.2. Otrzymywanie i charakteryzacja warstw węglika krzemu napylanych magnetronowo
3.3.3. Bonding anodowy Si/Si02/SiC:szkło
3.3.4. Dyfuzja stopująca
3.4. Matryce mikroemiterów z SiC:B
3.4.1. Matryca FEA z SiC:B
3.4.2. Matryca GFEA z SiC:B z bramką metaliczną
3.4.3. Matryca GFEA SiC:B z bramką krzemową
3.4.3.1. Zintegrowana katoda polowa
3.4.3.2. Katoda polowa z bramką krzemową
3.4.4. Matryca FEA z SiC:B z pokryciem nanorurkami węglowymi
3.4.5. Matryca FEA z SiC:B z nanootworami
3.5. Podsumowanie
Literatura

4. Urządzenia z mikro- i nanoemiterami - rozwiązania perspektywiczne
4.1. Mikroskop matrycowy SOMOC (technika quasi-mold)
4.2. Biochip (Lab-on-a-chip) z adresowanym źródłem światła dla mikrofluorometrü 167
4.3. Podsumowanie
Literatura

5. Wnioski końcowe i podsumowanie