Od autora . 7
Spis oznaczeń . 8

1. Wstęp . 11

2. Czujniki gazów z AFP 15 <br> 2.1. Istota działania i cechy czujników z AFP 16
2.1.1. Istota działania czujników gazów z AFP .. 17
2.1.2. Zjawiska fizykochemiczne w czujnikach z AFP 20
2.1.3. Cechy i znaczenie czujników gazowych z AFP 21
2.2. Generacja i detekcja AFP .. 24
2.2.1. Przetwornik międzypalczasty .. 24
2.2.2. Linia opóźniająca i rezonator . 26
2.2.3. Układ oscylatora .. 28
2.3. Rodzaje czujników z AFP .. 30
2.3.1. Czujniki z AFP typu Rayleigha (SAW) . 30
2.3.2. Inne rodzaje czujników akustycznych 35
2.3.3. Podział i etapy rozwoju czujników akustycznych .. 38
2.4. Podsumowanie i porównanie czujników akustycznych 40

3. Modele teoretyczne działania czujników z AFP .. 44
3.1. Model ogólny .. 44
3.2. Podstawowe sprzężenia w czujnikach gazu .. 46
3.3. Zjawiska kinetyczne dla oddziaływania gaz - element sensorowy 48
3.4. Modele sprzężenia gaz - element sensorowy . 52
3.4.1. Tlenki metali 52
3.4.2. Ftalocyjaniny .. 55
3.4.3. Cienkie warstwy palladowe 57
3.4.4. Struktury warstwowe 59
3.4.5. Zmiana parametrów struktur sensorowych 61
3.4.6. Profile odpowiedzi czujników gazu z AFP 64
3.5. Modele teoretyczne sprzężenia element sensorowy - AFP . 67
3.5.1. Rodzaje sprzężeń .. 68
3.5.2. Zaburzenia zespolonej stałej propagacji . 70
3.5.3. Zaburzenia dla efektów mechanicznych 73
3.5.3.1. Struktury idealnie sprężyste 78
3.5.3.2. Struktury Icpkosprężystc .. 80
3.5.3.3. Struktury akustycznie grube 80
3.5.3.4. Parametr R* . 81
3.5.4. Zaburzenia dla efektu akustoclcktryczncgo .. 82
3.5.4.1. Struktury pojedyncze 82
3.5.4.2. Struktury dwuwarstwowe 87
3.5.4.3. Wykorzystanie efektu akustoelcktryczncgo 102
3.6. Podsumowanie 110

4. Melodyka badań czujników gazów z AFP .. 113
4.1. Przygotowanie modułu sensorowego z AFP 114
4.2. Metoda pomiarowa z pojedynczą linią opóźniającą 117
4.3. Metoda pomiarowa z podwójną linią opóźniającą . 118
4.4. Metoda z identyfikacją modów częstotliwości . 122
4.5. Metoda z wielokanałowymi modułami sensorowymi . 125
4.6. Metoda akustyczno - elektryczna .. 127
4.7. Stanowisko pomiarowe 129
4.7.1. Komory i przyrządy pomiarowe 130
4.7.2. Układ dozowania gazów .. 131
4.8. Zjawiska związane z metodyką badań czujników z AFP .. 132
4.8.1. Dryft termiczny 133
4.8.2. Zmiany częstotliwości 134
4.9. Podsumowanie .. 136

5. Badania wybranych struktur sensorowych z AFP . 137
5.1. Pojedyncze struktury sensorowe .. 137
5.1.1. Warstwy palladu . 137
5.1.2. Analiza oddziaływań masowo - sprężystych dla cienkich warstw Pd .. 139
5.1.3. Warstwy ftalocyjaniny miedzi (CuPc) 141
5.1.4. Warstwy tlenku wolframu (WO,) 143
5.1.5. Warstwy pojedyncze w detekcji N02 143
5.2. Struktury dwuwarstwowe .. 145
5.2.1. Struktury dwuwarstwowe typu ftalocyjanina- pallad 145
5.2.1.1. Struktury ftalocyjanina hirudina miedziowa - pallad 145
5.2.1.2. Struktury ftalocyjanina wodorowa - pallad 150
5.2.2. Struktury dwuwarstwowe typu tlenek metalu - pallad 157
5.2.2.1. Struktura NiOx - pallad . 157
5.2.2.2. Struktura WO, - pallad . 159
5.2.3. Wykorzystanie struktur dwuwarstwowych w detekcji wodoru 160
5.2.4. Struktura dwuwarstwowa naflon* - polianilina .. 161
5.3. Struktury wielowarstwowe .. 163
5.3.1. Dodatkowe warstwy polietylenu 164
5.3.2. Dodatkowa warstwa typu TPX .. 166
5.4. Wyniki badań z wykorzystaniem szybkości oddziaływania .. 170
5.5. Wyniki badań w układzie wielokanałowym .. 172
5.6. Akustyczno - elektryczne badania struktur dwuwarstwowych 175
5.7. Podsumowanie badań eksperymentalnych 178

6. Podsumowanie .. 179

Bibliografia .. 182
Streszczenie . 193